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傳片功能支持EFEM+ROBOT
全自動,CCD成像
全自動走位+自動對焦+CCD成像
數(shù)據(jù)可追溯
高精度,高穩(wěn)定性
可配置多工作站點,多機臺數(shù)據(jù)的匯總
實現(xiàn)缺陷的AOI檢測
加裝型宏觀AOI系統(tǒng)
OM-自動顯微鏡系統(tǒng)
OCR-字符讀碼模塊
夾持PA-夾持晶圓預定位模塊
伯努利PA-伯努利晶圓預定位模塊
PA-晶圓預定位模塊
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